體積小，精度高
一維，二維，三維XYZ運(yùn)動(dòng)，兩維壓電偏擺鏡
行程：0-300 um
分辨率：0.1nm
頻率：5KHZ
負(fù)載：1-5KG
超高真空度選型，無磁，數(shù)字量閉環(huán)驅(qū)動(dòng)器
Npoint是一家專注于壓電陶瓷平臺(tái)20年的公司

體積小，行程大，精度高
一維，二維，三維，旋轉(zhuǎn)臺(tái)，六維并聯(lián)，光學(xué)調(diào)整架
行程：0-1m,行程最大可至1m
負(fù)載1-10KG
分辨率:1nm
可選項(xiàng)：超高真空度（UHV）,無磁，低溫至4K，多軸組裝
多通道閉環(huán)控制器，機(jī)械扭矩加強(qiáng)，發(fā)黑氧化等特殊要求
Smaract目前擁有行業(yè)內(nèi)最多的摩擦式壓電陶瓷產(chǎn)品系列

直線位移臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)，超高真空度UHV，及航空領(lǐng)域
一維，二維，三維，旋轉(zhuǎn)
行程：0-2m
分辨率：0.2-1 um
ISP是一家專注于高真空及航空領(lǐng)域的公司，其產(chǎn)品專用于UHV領(lǐng)域

旋轉(zhuǎn)氣浮臺(tái)，直線氣浮臺(tái)，機(jī)械旋轉(zhuǎn)臺(tái)，多軸大理石平臺(tái)
旋轉(zhuǎn)臺(tái)直徑：100-500mm
軸跳動(dòng)量：20-100nm,其中最好可達(dá)20nm
精度:2-10 arcsec
負(fù)載：0-8300N
直線氣浮平臺(tái)精度：0.1 um，行程可至1.5m
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及直線氣浮平臺(tái)利用氣浮面，無摩擦，可實(shí)現(xiàn)高精度平滑運(yùn)動(dòng)，試用于高精度，大負(fù)載。